一、技术参数：
1. 样品尺寸：≤Φ45mm；样品厚度：≤25mm
2. 扫描范围：标准配置1μm×1μm；20μm×20μm
3. 图像采样点：2048×2048
4. 最大扫描速率：55000 P/S
5. 进样方式：步进马达控制自动逼近，行程≤30mm，精度≤83nm
6. 扫描控制：双16-bit D/A（相当于26位精度）
7. 数据采样：双16-bit A/D（相当于23位精度）
二、主要特点
★ 具有极高的分辨率；
★ 可得到实时、真实的样品表面图像；
★ 使用环境宽松——既可以在真空中工作，又可以在大气中、低温、常温、         高温，甚至在溶液中使用；
★ 应用领域宽广——纳米科技、材料科学、物理、化学和生命科学等领域。
三、主要用途
1.原子力显微镜：
控制微悬臂探针在样品表面进行扫描，检测扫描过程中探针－样品间原子的相互作用力，获取样品表面形貌和其他性质。 AFM对样品没有导电性要求，其应用范围十分广泛。
2.扫描隧道显微镜：
控制金属探针在导电样品表面进行扫描，检测扫描过程中探针－样品间隧道电流的变化来获取样品的表面形貌和其他性质。由于要在探针和样品间产生并传输隧道电流，故只能检测导电样品。
3.纳米加工：
扫描探针纳米加工技术是纳米科技的核心技术之一，其基本原理是利用SPM的探针－样品纳米可控定位和运动及其相互作用对样品进行加工操纵，常用的纳米加工技术包括：机械刻蚀、电致/场致刻蚀、浸润笔(Dip-Pen Nano-lithography,DPN)等。

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